3D形状測定機シリーズ搭載装置
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3D形状測定機 | |
3D形状測定機シリーズを搭載した卓上型顕微鏡検査装置です。観察範囲はXY□300mm、Z100mmで各種特殊対応やオプション対応が可能です。 | |
特殊対応例 | |
・搬送ロボット、アライナー、ロードポートまたはスミフオープナー、特殊カセット台等を搭載した自動検査装置。 | |
・各軸のストローク変更 | |
・仕様に合わせた形状のワーク台搭載 | |
・各種回転ステージ搭載による特殊検査等 | |
・ご要望の照明追加 | |
・架台タイプのパッシブ除振台仕様 | |
・アクティブ除振台仕様 | |
・特殊な安全カテゴリーに合わせた安全カバーの設置に関して、条件によっては対応出来ない内容があるため、別途打合せが必要です。 | |
・レーザー顕微鏡シリーズ、マイクロスコープシリーズ、各種カメラやレーザー変位計、センサー等との併用仕様 | |
・様々な形状のワーク観察仕様(旧タイプ3D形状測定機シリーズの製作実績参照) | |
オプション | |
・Z軸ストロークの変更 | |
・簡易回転テーブル&ワーク台搭載(下記写真参照) | |
・ワーク形状に合わせた吸着プレート搭載 | |
・安全装置の設置(EMOボタン、ライトカーテン、インターロック付きドア) | |
・エアー3点セットの設置 | |
・アルミフレーム架台に搭載固定 | |
・卓上タイプの自動搬送装置とのドッキング仕様 | |
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樹脂製透明吸着プレート | 簡易回転テーブル&ワーク台 |