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| 3D形状測定機 |
| 3D形状測定機シリーズを搭載した卓上型顕微鏡検査装置です。観察範囲はXY□300ｍｍ、Z100ｍｍで各種特殊対応やオプション対応が可能です。 |
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| 特殊対応例 |
| ・搬送ロボット、アライナー、ロードポートまたはスミフオープナー、特殊カセット台等を搭載した自動検査装置。 |
| ・各軸のストローク変更 |
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| ・仕様に合わせた形状のワーク台搭載 |
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| ・各種回転ステージ搭載による特殊検査等 |
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| ・ご要望の照明追加 |
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| ・架台タイプのパッシブ除振台仕様 |
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| ・アクティブ除振台仕様 |
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| ・特殊な安全カテゴリーに合わせた安全カバーの設置に関して、条件によっては対応出来ない内容があるため、別途打合せが必要です。 |
| ・レーザー顕微鏡シリーズ、マイクロスコープシリーズ、各種カメラやレーザー変位計、センサー等との併用仕様 |
| ・様々な形状のワーク観察仕様（旧タイプ3D形状測定機シリーズの製作実績参照） |
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| オプション |
| ・Z軸ストロークの変更 |
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| ・簡易回転テーブル＆ワーク台搭載（下記写真参照） |
| ・ワーク形状に合わせた吸着プレート搭載 |
| ・安全装置の設置（EMOボタン、ライトカーテン、インターロック付きドア） |
| ・エアー3点セットの設置 |
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| ・アルミフレーム架台に搭載固定 |
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| ・卓上タイプの自動搬送装置とのドッキング仕様 |
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| 樹脂製透明吸着プレート |
簡易回転テーブル＆ワーク台 |
