全自動装置(製作事例)

ジグテックプレジション株式会社 製品紹介 auto
半導体マスク自動検査装置
SMIFポッドに収納されたマスクを検査ステーションに自動搬送し、4種の検査機で検査する装置です。装置全体をサーマルチャンバーで囲い、ワークの上面をクラス1の環境に保ち、温湿度をそれぞれ21±0.1°45±1%に調整することで装置全体を21±0.5°、45±5%に保っています。搬送機構はすべてステッピングモーターを使用し、石定盤製のアクティブ除振台を使用し検査位置を低振動に制御しています。XYステージの位置決めには分解能10nmのレーザー干渉計を採用し、X線イオナイザーを使用して検査位置の大気を直接イオン化して除電しています。
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リング外観検査装置
リング状の部品をホッパーにセットすると、パーツフィーダー及び直線フィーダーで自動搬送し、3ステーションの検査部で5台のカメラを使用して外観検査を行い、判定後コンベヤにて仕分けを行い、各収納箱に自動搬送する装置です。
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基板外観検査装置
特殊な基盤専用のカセットを搭載し、ベルトコンベア上に自動で搬送し6台のカメラで検査を行い、カセットに自動収納する装置です。
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デバイス部品、高さ検査装置
高倍率の顕微鏡を使用して合焦法によってデバイス部品の高さを自動検査する装置です。検査ステーションには石定盤とパッシブ防振機構を使用して除振及び温度変化を抑えています。Z軸はリニアスケールを搭載して高さの再現性を保証しております。
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ガラス基板自動検査装置
ラインセンサーカメラを3台並べてガラス基板の検査を行う装置です。2種類のコンベアで構成され、搬入側は安全を考慮したマグネット駆動のコンベアで、検査側は歯車での駆動となります。搬送時の高さ変異は0.1mm以下で搬送可能です。