クリーンルーム
弊社では取引先である大手光学系メーカー様のご指導のもとクリーンルームを設け、パーティクルの混入を防止し、よりクリーンな状態でお客様に商品をご提供させていただいております。 |
クリーンルームジグテックプレジション株式会社 | クラス1000※ |
洗浄 | 有機溶剤 |
超純水 | 18.2MΩ |
N2ガス | 純度99.999% |
※クラスはクリーン度を表すもので、クラス1000とは 1立方フィート内に0.5μ以上の浮遊物質が1,000個以下且つ、5μ以上の物が10個以下という状態です |
![]() 真空ベーキング装置 |
![]() クリーンルーム内 |
主要設備
クリーンルーム内では、洗浄、組立、及び梱包を行います。
主な使用機器は以下の通りです。
装置ジグテックプレジション株式会社 ジグテック | 製造 |
超音波洗浄機 | 株式会社カイジョー |
真空ベーキング装置 | ヤマト科学株式会社 |
超純水精製機 |
計測設備
検査装置にはサンプルまたは検査ユニットを動かす位置決めステージの走り精度、位置決め精度及び、設置環境の振動を減衰する除震性能が要求されます。 | ||
ステージの性能評価 | ||
弊社では位置決めステージの様々な性能検査にレーザー測長器を使用し、様々なミラーユニットを組み合わせることによって、位置決め精度と真直度、角度変異の検査を行っています。 また、ミラーユニットを設置できない条件の時はオートコリメーター及び、接触式測長器を使用してステージの評価を行っています。 |
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設置環境の振動評価 | ||
弊社が扱うレーザー顕微鏡はnmレベルの検査を行うため、pmレベルの振動検査を行い、正しく評価して除震装置の仕様を決める必要があります。 振動は周波数によって抑える方法が全く違う為、事前に問題となる周波数帯を把握しなければならない。また、振動している方向も把握する必要がある為、3方向の振動の周波数帯を同時に計測し分析する必要がある。 |
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![]() パワースペクトル |
![]() 位相・コヒレンス |
型式 | HM5-03 | |||||||
チャンネル数 | 3ch | |||||||
周波数レンジ | 50,100,200,400Hz | |||||||
測定レンジ | 2,10,50,100cm/s2 0-P | |||||||
測定範囲 | 0.1~400Hz(加速度),1~400Hz(速度・変位)※計算値 | |||||||
スペクトル本数 | 400本 | |||||||
ウィンドウ関数 | ハニング・レクタンギュラ(矩形) | |||||||
平均化モード(周波数領域) | 加算平均・指数化平均・ピークホールド | |||||||
オーバーラップ | 0,25,50,75,87.5%(測定条件により変動) | |||||||
センサー形式 | サーボ型加速度センサー | |||||||
センサー分解能 | 1×10-6m/s2 | |||||||
A/Dコンバータ | 16bit | |||||||
グラフ表示・印刷 | 時間軸波形,パワースペクトル(r.m.s),振動伝達率,位相, コヒレンス,トリパタイト,1/3オクターブ |
加工設備
マシニングセンタ:a-D21MiA5 | 卓上面取機:UF-Ⅱ型 |
NCフライス:ST-NR | 高速切断機:C12LDH |
汎用フライス盤:KSAP | タッピング盤:KRT-10 |
横穴加工機 | ベンチサンドブラスト:W630 × D490 × H490 |
卓上ボール盤:NBD-340LR | エアーコンプレッサー:CLP372F – 8.5D |