クリーンルーム
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弊社では取引先である大手光学系メーカー様のご指導のもとクリーンルームを設け、パーティクルの混入を防止し、よりクリーンな状態でお客様に商品をご提供させていただいております。 |
半導体関連機器や光学部品、医療機器などの精密機械は、小さな埃などの僅かな不純物や油分も入らない環境で作られる必要があります。| クリーンルームジグテックプレジション株式会社 | クラス1000※ |
| 洗浄 | 有機溶剤 |
| 超純水 | 18.2MΩ |
| N2ガス | 純度99.999％ |
| ※クラスはクリーン度を表すもので、クラス1000とは 1立方フィート内に0.5μ以上の浮遊物質が1,000個以下且つ、5μ以上の物が10個以下という状態です |
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真空ベーキング装置 |
クリーンルーム内 |
主要設備
クリーンルーム内では、洗浄、組立、及び梱包を行います。
主な使用機器は以下の通りです。
| 装置ジグテックプレジション株式会社 ジグテック | 製造 |
| 超音波洗浄機 | 株式会社カイジョー |
| 真空ベーキング装置 | ヤマト科学株式会社 |
| 超純水精製機 |
計測設備
| 検査装置にはサンプルまたは検査ユニットを動かす位置決めステージの走り精度、位置決め精度及び、設置環境の振動を減衰する除震性能が要求されます。 | ||
| ステージの性能評価 | ||
| 弊社では位置決めステージの様々な性能検査にレーザー測長器を使用し、様々なミラーユニットを組み合わせることによって、位置決め精度と真直度、角度変異の検査を行っています。 また、ミラーユニットを設置できない条件の時はオートコリメーター及び、接触式測長器を使用してステージの評価を行っています。 |
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 レーザー測長器：XL-80 |
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| 設置環境の振動評価 | ||
| 弊社が扱うレーザー顕微鏡はnｍレベルの検査を行うため、ｐｍレベルの振動検査を行い、正しく評価して除震装置の仕様を決める必要があります。 振動は周波数によって抑える方法が全く違う為、事前に問題となる周波数帯を把握しなければならない。また、振動している方向も把握する必要がある為、3方向の振動の周波数帯を同時に計測し分析する必要がある。 |
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 時間軸波形パワースペクトル |
 振動伝達率位相・コヒレンス |
携帯型振動測定システム：HM5-03
| 型式 | HM5-03 | |||||||
| チャンネル数 | 3ch | |||||||
| 周波数レンジ | 50,100,200,400Hz | |||||||
| 測定レンジ | 2,10,50,100cm/s2 0-P | |||||||
| 測定範囲 | 0.1～400Hz(加速度),1～400Hz(速度・変位)※計算値 | |||||||
| スペクトル本数 | 400本 | |||||||
| ウィンドウ関数 | ハニング・レクタンギュラ(矩形) | |||||||
| 平均化モード(周波数領域) | 加算平均・指数化平均・ピークホールド | |||||||
| オーバーラップ | 0,25,50,75,87.5%(測定条件により変動) | |||||||
| センサー形式 | サーボ型加速度センサー | |||||||
| センサー分解能 | 1×10-6m/s2 | |||||||
| A/Dコンバータ | 16bit | |||||||
| グラフ表示・印刷 | 時間軸波形,パワースペクトル(r.m.s),振動伝達率,位相, コヒレンス,トリパタイト,1/3オクターブ |
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加工設備
| マシニングセンタ：a-D21MiA5 | 卓上面取機：UF-Ⅱ型 |
| NCフライス：ST-NR | 高速切断機：C12LDH |
| 汎用フライス盤：KSAP | タッピング盤：KRT-10 |
| 横穴加工機 | ベンチサンドブラスト：W630 × D490 × H490 |
| 卓上ボール盤：NBD-340LR | エアーコンプレッサー：CLP372F – 8.5D |