マイクロスコープ検査装置
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| 大型マイクロスコープ観察装置 | 小型マイクロスコープ観察装置 |
| ワークをガラス台に乗せて手動で600×500ｍｍ動かすことのできる観察装置です。手動による大きなストローク移動とハンドル操作による微調機能があります。 | 手動タイプのマイクロスコープ観察ステージです。 |
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| 3・4・6インチ兼用 マイクロスコープ観察装置 |
マイクロスコープ観察ユニット |
| 付属の専用ワーク台に3種類のウエハを設置でき、観察ができます。専用ワーク台はウエハの外周3ｍｍ以外は非接触で、オリフラガイドによって向きを決められます。 | 装置先端にマイクロスコープを設置し、反対側から5方向に調整ができ、かつ倍率調整が可能です。また、マイクロスコープ先端に光路切替アダプターを設置して特殊な観察を行うことができる装置です。 |
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| 大型基板検査装置 | ワーク自動観察装置 |
| マイクロスコープを装置に搭載し、大型のプリント基板の任意の位置を検査致します。光学系を傾けることにより斜めからの検査もでき、かつワークも若干回転できます。 | ワークの下面を観察するため、特殊光学系を使用した側視アダプタを搭載したズームレンズを大きく自動で動かし、観察する装置です。倍率×1,000対応です。 |
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| 円筒部品検査装置 | 自動ズームレンズ |
| マイクロスコープをZ及びθｘ方向に動かし、円筒ワークを三つ爪チャックで固定してXyθ及びθｙ方向に動かして観察する装置です。 | マイクロスコープの倍率及びレンズ切替をモーター駆動で行える治具です。 |
