セミオート装置（製作事例）

引張試験機

部品形状検査装置

ワーク台に手動でワークをセットして自動検査を行う半自動機です。客先より依頼された検査項目に従い検査を行う装置です。ワークのOK、NG判定及び、バーコードの自動プリント、検査内容のプリントアウト等、自動にて行います。

60インチ、フラットパネルディスプレイ用、側長顕微鏡

ワーク台に手動でワークをセットして自動検査を行う半自動機です。測長及び顕微鏡観察ができる装置です。

フラットパネルディスプレイ用、顕微鏡検査装置

ストローク650×400ｍｍを大きく手動でスライド移動できます。また、微動レバーでベルトを固定する事によってストローク全域で微動調整が可能です。テーブル面には大型ガラスが設置されており、ストローク全域で透過照明による暗視野検査もできます。

大型顕微鏡撮影装置

大型パネルの表面を検査する手動の顕微鏡です。55”までのガラスパネルを載せてハンドルでXYにフリースライド移動とロック微調で±50mmのハンドル送りができます。ステージの移動量を２軸カウンタでデジタル表示します。フォーカスZ移動は100mmを手元ハンドルでフォーカスできます。

ラインセンサーカメラを使用したステレオ法検査装置

高分解能のラインセンサーカメラを使用したユニットを3個搭載した検査装置です。光源にはレーザーを使用しています。
XYステージは石で製作しており、真直度は1μｍです。上軸がリニアモーターで、下軸はステッピングモーターで駆動します。

測長機能付き顕微鏡

ニコン社製顕微鏡ユニットにスケールを取り付ける事により測長機能を持たせた顕微鏡です。

自動導波路調芯装置

特殊導波路の調芯を自動で行う装置です。4軸の自動ステージ、2軸のピエゾステージ、14軸の手動ステージ及び各ホルダー類で光路調整、及びワーク移動等行います。

レーザー干渉計

客先要望による干渉計の例です。組込み用に小型にする等、ご要望があれば対応致します。