デモ機

半導体ウエハ内部欠陥自動検査装置

多層構造のシリコンウェハーの表面、内部、エッジ部を3つの検査ステーションと3個 の検査台を組み合わせて使用する事によって効率的に検査できる装置です。

クリーンルーム

半導体関連機器や光学部品、医療機器などの精密機械は、小さな埃などの僅かな不純物や油分も入らない環境で作られる必要があります。

弊社では取引先である大手光学系メーカー様のご指導のもとクリーンルームを設け、パーティクルの混入を防止し、よりクリーンな状態でお客様に商品をご提供させていただいております。

※クラスはクリーン度を表すもので、クラス1000とは1立方フィート内に0.5μ以上の浮遊物質が1,000個以下且つ、5μ以上の物が10個以下という状態です

真空ベーキング装置

クリーンルーム内

主要設備

クリーンルーム内では、洗浄、組立、及び梱包を行います。主な使用機器は以下の通りです。

計測設備

検査装置にはサンプルまたは検査ユニットを動かす位置決めステージの走り精度、位置決め精度及び、設置環境の振動を減衰する除震性能が要求されます。

ステージの性能評価

弊社では位置決めステージの様々な性能検査にレーザー測長器を2台使用し、様々なミラーユニットを組み合わせることによって、位置決め精度と真直度、角度変異の検査を行っています。
また、ミラーユニットを設置できない条件の時はオートコリメーター及び、接触式測長器を使用してステージの評価を行っています。

レーザー測長器：XL-80

オートコリメーター：
KT200432

接触式測長器：MF-501

設置環境の振動評価

弊社が扱うレーザー顕微鏡はnｍレベルの検査を行うため、ｐｍレベルの振動検査を行い、正しく評価して除震装置の仕様を決める必要があります。 振動は周波数によって抑える方法が全く違う為、事前に問題となる周波数帯を把握しなければならない。また、振動している方向も把握する必要がある為、3方向の振動の周波数帯を同時に計測し分析する必要がある。

携帯型振動測定システム：HM5-03

時間軸波形パワースペクトル

振動伝達率位相・コヒレンス

加工設備